阿斯麦是全球唯一生产7纳米以上先进EUV设备的厂商。这类设备不仅每台造价数百万美元且产量稀少。阿斯麦年产量仅40至50台，造成三星电子、英特尔及台积电等业者抢购。目前全球仅有台积电、三星、SK海力士、英特尔、美光等五家芯片厂需要EUV设备，其中七成EUV由台积电购买。
英特尔近年为了在半导体市场重拾领导地位，不惜使出浑身解数，但三星电子也不甘示弱。三星执行董事长李在镕近日访问荷兰时，与阿斯麦签下价值1兆韩元（约7.6亿美元）的合约。根据合约，三星与阿斯麦将在韩国京畿道东滩投资建立半导体技术研发中心，并由双方工程师共同研发最新EUV技术。
掌管三星设备解决方案部门的三星副董事长庆桂显强调，三星这回与阿斯麦签约不完全是为了争取2纳米芯片制造设备，更希望建立研发合作关系，将新一代制造技术发挥到极致。他表示：“三星这趟荷兰访问行程已在高数值孔径EUV技术上掌握优势，未来会将这项技术完全应用在DRAM内存芯片制造。”
阿斯麦2纳米EUV设备采用的新光学系统收光能力从0.33增强至0.55，能让芯片制造商使用超精密图案化技术来生产2纳米芯片。ASML计划未来几年要改善产能，年产20台。
随着电脑计算需求急速扩大，2纳米芯片制程已成为全球芯片制造商的最新角力战。英特尔先前表示2025年量产2纳米芯片，但日前该公司研发高层Sanjay Natarajan夸口量产时间将提前至明年。三星预计2纳米芯片自2025年投产，而目前技术领先的台积电则预计2025年量产2纳米芯片，甚至外传已抢下苹果iPhone 17 Pro芯片订单。
