长鑫存储被曝测试键合DRAM试验线,绕开EUV封锁研发高密度内存

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长鑫存储(CXMT)正在安徽合肥测试一条键合DRAM(Bonded DRAM)试验线,试图在不使用极紫外(EUV)光刻设备的情况下,通过晶圆级混合键合技术生产高性能DRAM。韩媒将这一动向描述为“后HBM世代”的潜在竞争方向。

长鑫存储被曝测试键合DRAM试验线,绕开EUV封锁研发高密度内存

键合DRAM的核心在于重构DRAM的底层架构。传统DRAM将存储阵列与外围控制电路做在同一块晶圆上,两者工艺要求不同,互相牵制。长鑫的方案是将两者拆分到两块独立晶圆上分别制造——存储阵列用DUV多重曝光工艺追求高密度,外围电路用成熟制程,最后通过原子级混合键合将两片晶圆垂直融合。混合键合通过介电层键合和铜-铜直接互连,将连接间距压到10微米以下。键合后导电渠道密度提升3倍,电阻降低65%。

这一技术路径使长鑫得以绕开EUV光刻设备的封锁。三星拥有至少55台EUV光刻机,SK海力士有26台。而长鑫仅靠DUV多重曝光加混合键合,就能生产高密度DRAM。

HBM领域同步推进。 长鑫存储已推出HBM3样件,向华为等国内AI芯片厂商供货,正处于量产前验证阶段。公司计划2027年实现12层HBM3E量产。长鑫将DRAM总产能的约20%投入HBM制造,月产能可达6万片晶圆。行业消息人士透露,长鑫在技术上已具备HBM3量产能力,虽然良率仍是制约因素,但技术层面已不存在代差。

据CFM闪存市场数据,2026年第一季度长鑫存储DRAM销售收入达73.09亿美元,环比增长115.1%,市场份额升至7.7%,排名全球第四。SemiAnalysis预计,长鑫晶圆月产能将从2025年底的约26.5万片增至2026年底的35万片。

中韩HBM技术差距已从五年缩短至约三年。首尔大学电子工程教授崔宇英(音译)指出,如果华为等中国AI芯片厂商优先采用长鑫的HBM产品并积累实际量产经验,良率和稳定性的提升速度可能比预期更快。

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