全球光刻机巨头ASML近日披露一项重大技术突破,计划在2030年前将芯片产量较现阶段提升50%。这一技术升级的核心,是将极紫外光刻设备的光源功率从当前的600瓦提升至1000瓦,从而大幅缩短晶圆曝光时间。

ASML的NXE产线执行副总裁表示,到2030年,每台机器每小时可处理约330片硅晶圆,远高于目前的220片。光源功率越高,每小时产出的晶圆就越多,直接摊薄每颗芯片的制造成本。
这项技术进步背后涉及复杂的光电转换工艺:机器每秒将锡滴数量提高一倍至约10万个,并用两组更小的雷射脉冲将其塑造成电浆,最终产生13.5纳米波长的极紫外光。德国蔡司提供的光学设备负责收集并导入光刻机。
作为ASML最大的EUV设备用户,台积电被视为最直接的受益方。市场普遍认为,这一新技术将巩固台积电在晶圆代工领域的龙头地位,提升产出规模并降低成本。
消息传出后,台股市场迅速反应。2月24日,台积电股价盘中一度冲上新台币1975元,创下历史新高,最终收报新台币1965元,涨幅达3.42%,市值突破新台币50.96万亿元,折合约1.61万亿美元。
ASML近期发布的财报及展望均超出市场预期,公司在手订单创下新高,并上调2026年全年展望。法人机构分析认为,ASML的技术突破和业绩向好,从上游验证了AI需求对先进制程的强劲拉动,台积电后续运营将持续受益。